超聲波輔助加工設備是利用超聲頻作小振幅振動的工具，并通過它與工件之間游離于液體中的磨料對被加工表面的捶擊作用，使工件材料表面逐步破碎的特種加工。
雖然超聲波加工設備的功率和結構有所不同，但其基本組成相同。一般包括超聲發生器、超聲振動系統、機床和磨料懸浮液循環系統，其主要功能如下：
一、超聲波發生器
超聲波發生器的作用是將工頻交流電轉換為超聲頻振蕩，以供給工具端面往復振動和去除工件材料的能量。當某種原因引起超聲波振動系統共振頻率的變化時，可通過“聲反饋"或“電反饋"使超聲波發生器的工作頻率能自動跟蹤變化，保證超聲波振動系統始終處于良好的諧振狀態。
二、超聲振動系統
超聲振動系統主要包括超聲換能器、超聲變幅桿和工具。其作用是將由超聲波發生器輸出的高頻電信號轉變為機械振動能，并通過變幅桿使工具端面作小振幅的高頻振動，以進行超聲波加工。
三、機床
超聲波加工時，工具與工件間的作用力很小，加工機床只需實現工具的工作進給運動及調整工具與工件間相對位置的運動，因此，超聲加工機床一般比較簡單，包括支撐振動系統的機架及工作臺面，使工具以一定壓力作用在工件上的進給機構、床身等部分。
四、磨料懸浮液循環系統及換能器冷卻系統
簡單的超聲波輔助加工設備，其磨料是靠人工輸送和更換的，即在加工前將懸浮磨料的工作液澆注在加工區，加工過程中定時抬起工具和補充磨料。也可利用小型離心泵使磨料懸浮液攪拌后澆注到加工間隙中，對于較深的加工表面，應經常將工具定時抬起以利磨料的更換和補充。
